17 | 06 | 2019
Am 16.Oktober 2018 findet der Workshop "Innovative Konzepte der AVT für MEMS und MOEMS" in Erfurt statt. Der Workshop richtet sich an alle Interessenten aus Wirtschaft und Wissenschaft, die sich mit den neuesten Entwicklungen auf dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechnik für siliziumbasierte MEMS-Sensoren vertraut machen wollen. Dabei werden Aspekte von Simulation und Design über die Prozessentwicklung bis zur Charakterisierung und Analyse kompletter Baugruppen betrachtet.
In Fachbeiträgen wird dargestellt, wie beginnend vom Design eines Siliziumchips über Analysemethoden bis hin zum komplettierten Sensorsystem, Lösungen gefunden werden, welche eine zuverlässige und rückwirkungsarme Montage ermöglichen.
Schwerpunkte sind das Handling und die spannungsoptimierte Montage extrem dünner Silizium-Kraftsensoren, die Miniaturisierung und das Wärme-Management bei optischen Hochleistungsbaugruppen sowie Montagelösungen auf Waferlevel. Weiterhin werden Lösungswege zur Realisierung hermetischer oder thermisch stark belastbarer multifunktionaler Packages für die Infrarot-Sensorik aufgezeigt.
Detaillierte Informationen enthält das beiliegende Programm.
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